薄膜x线在线检测
2023-08-19 来源:唯塑传播
随着先进薄膜材料制备技术的发展，用于表征薄膜材料的分析技术的水平和内容变得更加复杂和多样化。这其中X射线用于表征薄膜的技术有很大的发展。利用X射线来表征材料有很长的历史。在对材料的晶体结构进行测试方面，X射线衍射技术是非常成功的。和电子束衍射相比，薄膜x线在线检测有以下特点：
①非破坏性的，并且无需特别的制样方法。
②能够在特殊环境和常规环境下进行测试，例如高温高压下测试。
③能够获得材料的平均结构信息，测试范围较广从nm级到cm级都可以表征。
④对有机材料的破坏性也较低。
⑤通过控制X射线的角度能够改变分析的材料的深度。
⑥可以表征埋层材料的界面结构。
X射线测试技术广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料不同于普通的粉末XRD表征，存在一定的限制和薄膜的特性。例如，当薄膜具有强烈的择优取向时，只有特定晶面的衍射能被观察到。
